偉勝 自動化烤箱
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產品特色
- Wafer Size: 8” /12”(200 /300 mm)
- 無塵度: Class 10 / 100
- 含氧量:O2< 10 ppm
- 溫度範圍：室溫~450℃，常溫~450℃ < 80min(空爐測試)
- 降溫速率:450℃降至80℃約60 min(空爐測試)
- 溫度均勻度:450℃±3℃(Tool: TC Wafer with 5 points)
產品資訊
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原廠名稱
偉勝乾燥 -
製程名稱
烘烤製程 -
英文名稱
Auto-Oven -
產品細目
自動化烤箱
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