佳宸 載具清洗機 SC-106
全程使用DIW，可清洗載具如: Foup/Fosb、Magazine、Boat/Jig、 Frame / Tray、Cassette、Frame CST、Tray CST
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產品特色
- 高壓噴頭搭配軟體可以實現指向式清洗 / 噴頭角度方向可調整
- 減少製程汙染
- 空間節省30%
- 有效清除Particle / AMC / 殘留光阻及殘膠
產品資訊
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原廠名稱
佳宸 -
製程名稱
WLCSP/Ceramic e-WLB(Fan out)/Flip Chip/Wafer Bumping -
英文名稱
Foup/FOSB Cleaner(SC-106) -
產品細目
載具清洗機SC-106
