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佳宸 研切水阻值靜電供應監測系統 CAP-16

適用於切割、研磨等易產生靜電的製程。設備搭配CO2 Bubbler,CO2 離子可有效中和靜電,減少靜電對產品的影響。佳宸CO2 Bubbler,由專業團隊自主開發設計製造,採S-PID智能精密程控,全時段監控流量變化,程式會因應變化對CO2 做微調,使其維持穩定濃度±0.02MΩ。

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產品特色
  • 成本控管:易維修,低耗材
  • LED辨析設計:輕鬆辨識機況
  • 精密程控:業界TOP,±0.02MΩ
  • 內建數據分析:易於遠端辨識製程
  • 全面性監控:智能演算調壓
產品資訊
  • 原廠名稱
    佳宸
  • 製程名稱
    CMP/Dicing/Cleaning/Wet Etch
  • 英文名稱
    CO2 Static Elimination(CAP-16)
  • 產品細目
    研切水阻值靜電供應監測系統
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