Hirata 自動面板傳輸機 Panel EFEM
半導體Panel設備自動化整合服務的提供，可搭配不同Panel尺寸的設備前端自動化模組
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產品特色
- Minimum Footprint: Enables the flexible arrangement of robots, load ports and hands.
- High Throughput: Smooth and High Speed wafer handling with AC servo system and control.
- Meets Customer's Requirement with Various Options
- Strongly-built slider: Robust rack & pinion ensures quiet driving and lubrication-free.
產品資訊
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原廠名稱
平田 -
製程名稱
Ceramic e-WLB(Fan out)/FOPLP/COPOS/PLP -
英文名稱
Panel EFEM -
產品細目
自動面板傳輸機
