佳宸 研切水阻值静电供应监测系统 CAP-16
适用于切割、研磨等易产生静电的制程。设备搭配CO2 Bubbler，CO2 离子可有效中和静电，减少静电对产品的影响。佳宸CO2 Bubbler，由专业团队自主开发设计制造，采S-PID智能精密程控，全时段监控流量变化，程式会因应变化对CO2 做微调，使其维持稳定浓度±0.02MΩ。
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产品特色
- 成本控管：易维修，低耗材
- LED辨析设计：轻松辨识机况
- 精密程控：业界TOP，±0.02MΩ
- 内建数据分析：易于远端辨识制程
- 全面性监控：智能演算调压
产品信息
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原厂名称
佳宸 -
制程名称
CMP/Dicing/Cleaning/Wet Etch -
英文名称
CO2 Static Elimination(CAP-16) -
产品细目
研切水阻值静电供应监测系统
