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Park 原子力显微镜 NX20(300mm)

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产品特色
  • 整个300mm晶圆区域可进行低杂讯原子力显微镜量测分析
  • 300mm真空吸盘支持各种尺寸、形状和类型的晶圆，让用户几乎可准确扫描任何样品
  • 具有粗糙度、高度和深度量测，缺陷检查，电力和磁故障分析，热效能表征和奈米力学性能成像等能力
产品信息
  • 原厂名称
    Park
  • 制程名称
    12吋(300mmX300mm)大样品量测
  • 英文名称
    NX20(300mm)
  • 产品细目
    大样品AFM
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