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PARK 原子力顯微鏡 NX20(300MM)

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产品特色
  • 整個300mm晶圓區域可進行低雜訊原子力顯微鏡量測分析
  • 300mm真空吸盤支持各種尺寸、形狀和類型的晶圓,讓用戶幾乎可準確掃描任何樣品
  • 具有粗糙度、高度和深度量測,缺陷檢查,電力和磁故障分析,熱效能表徵和奈米力學性能成像等能力
产品信息
  • 原廠名稱
    Park
  • 製程名稱
    12吋(300mmX300mm)大樣品量測
  • 英文名稱
    NX20(300mm)
  • 產品細目
    大樣品AFM
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