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PARK 原子力顯微鏡 NX-WAFER

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产品特色
  • 提供線上高解析度表面粗糙度、溝槽寬度、深度和角度量測。
  • 實現多位置的直接可重複高解析度量測。
  • 能夠掃描300mm 晶圓
产品信息
  • 原廠名稱
    Park
  • 製程名稱
    晶圓廠製程自動化量測200mm/300mm
  • 英文名稱
    NX-Wafer
  • 產品細目
    線上型全自动AFM(晶圓廠)
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