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PARK 原子力顯微鏡 NX-TSH

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产品特色
  • 超大型、超重型奈米平板顯示器的自動原子力顯微鏡(AFM)系統
  • 尖端掃描頭和龍門式氣浮臺使Park NX-TSH能够精確量測影像粗糙度、臺階高度、臨界尺寸。
  • 可以在OLED、LCD、光掩模等上獲得可靠、高解析度的AFM影像。
产品信息
  • 原廠名稱
    Park
  • 製程名稱
    面板廠製程自動化量測
  • 英文名稱
    NX-TSH
  • 產品細目
    線上型全自动AFM(面板廠)
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